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毕业论文-多晶硅太阳电池表面织构化工艺的研究，共48页，18996字。
摘要
表面织构化（制作绒面）是提高太阳电池效率的重要手段。多晶硅表面织构工艺，目前在工业化生产中还没有全面推广。如何判绒面的质量，以及如何实现稳定的工业生产等问题还有待解决。本文研究了以硝酸和氢氟酸为基础的腐蚀液对多晶硅表面的化学腐蚀。
酸的浓度对硅片的微观形貌、腐蚀速率、溶液稳定性等方面的有较大影响。硝酸或氢氟酸浓度的微小变化都会影响硅片表面形貌，因此要保证绒面形貌，必须严格控制溶液浓度，使之保持在一定的浓度范围。在大批量工业生产中，随着酸的消耗，必然导致溶液浓度的变化，及时调整溶液浓度是保证工业生产的一个关键问题。
微观形貌对电池生产工艺和电池性能有一定的影响。反射率较低的样品，晶体缺陷处和晶界处会被腐蚀得比较深，对清洗、钝化、印刷电极等造成不利影响；反射率较高的样品，有比较平整的表面形貌，但陷光效果不理想。如何兼顾光学性能和电学性能，选择最合适的微观形貌，是制作多晶硅绒面要解决的一个主要问题。
本文应用绒面技术工艺，在125mm×125mm的多晶硅片上制作绒面，并制造了少量电池，分析了……。制得的电池的短路电流密约为32mA/cm2，达到了增加硅表面对光吸收的效果。
关键词：多晶硅；表面织构化；微观形貌；晶格缺陷

目 录
中文摘要Ⅱ
英文摘要Ⅲ
目录Ⅳ
第一章 绪论1
1.1光伏效应简介1
1.2提高电池效率的手段2
1.3晶体硅太阳电池制造工艺流程4
1.4硅的表面处理5
1.5课题研究意义和内容8
第二章 HF-HNO3体系对多晶硅的表面腐蚀10
2.1硅腐蚀的化学反应原理10
2.2影响腐蚀的主要因素11
2.3腐蚀机理分析25
2.4 HF-HNO3腐蚀与NaOH腐蚀的比较27
2.5其他氧化剂和添加剂29
2.6多晶硅腐蚀工艺设计方法30
2.7本章小结31
第三章 多晶硅电池制造和分析33
3.1 多晶硅太阳电池制造过程33
3.2 表面形貌对电池制造工艺和性能的影响36
3.3电池反射率分析38
3.4本章小结40
参考文献41
致 谢42