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EWT太阳电池结构与工艺研究，硕士学位论文，共77页。
摘要
对于晶体硅太阳电池来说，一直都是以高效低成本作为研究的最终目标，新型结构晶体硅太阳电池由于种种优势而越来越受到关注。EWT （ emitterwrap-through）太阳电池结构具有更高的短路电流、遏制衰减、更高的组件封装速度和输出功率等优点，非常适合制作高效太阳电池。因此，可以尝试将此种新型结构运用于低成本硅材料上制备出性价比高的晶体硅太阳电池，对于我国太阳电池的制备技术和研究水平具有积极的意义。针对目前国内外生产工艺存在较大的差距，为了充分发挥发射极卷包结构在相对低质量的晶体硅材料上的优势，本文对发射极卷包EWT 太阳电池结构及其制作工艺进行探索性的研究。通过对开孔、损伤层的处理以及扩散等关键工艺进行优化，结合对制备方法的改善，提出一套低成本制备发射极卷包太阳电池的方法，试图探索出大规模生产技术的技术路线。
本论文共分成五章：
第一章是绪论，主要针对晶体硅太阳电池的发展状况进行综述，特别是对高效太阳电池技术研究，从而引申出发射极卷包太阳电池由于独特的结构运用于相对低质量的硅材料上，因此具有良好的产业化前景。如何实现大规模生产技术制作高转化效率的发射极卷包太阳电池是其面临的主要问题。
第二章对激光技术应用在晶体硅太阳电池制备中的一些新工艺进行了开发研究，分析了激光在开孔的过程中与材料的相互作用，重点介绍了激光与硅材料的作用机理，摸索出一套激光在硅片上开微孔的工艺参数，并就减少激光开孔常出现的圆台的锥度提出一套可行性方案，并最终成功地在0.22mm 厚的硅片上得到上下孔径比为7:6 的微孔。
第三章利用化学腐蚀液对激光开出的孔以及刻的槽进行清洗，通过改变腐蚀液溶质的质量分数w、腐蚀温度T 以及腐蚀时间t 等工艺参数，并且在w=9wt%、T=80℃、t=8～11min 时，可以得到比较理想的孔与槽结构，通过少子寿命的测试分析发现，是否对硅片进行激光开孔刻槽的前处理对发射极卷包太阳电池性能的影响极大。
第四章对发射极卷包太阳电池的扩散以及退火过程进行研究，扩散是形成电池前表面场及背表面p-n 结的关键工序，其工艺条件对电池性能有重要影响。对扩散工艺的研究发现，通过优化掺杂工艺以及退火的时间和温度，通过少子寿命的测试分析发现，优化的掺杂后的方块电阻约为75Ω/□以及退火的温度为450℃，时间为30min 可以较明显改善体少子寿命。
第五章总结，结合几种制备发射极卷包太阳电池的方法，并设想一套低成本实现发射极卷包太阳电池的制备方法，试图探索出大规模生产技术的技术路线。
关键词：EWT 太阳电池，激光开孔刻槽，扩散，退火，少子寿命

目录
摘要 I
Abstract III
目录 VI
第一章 绪论 1
11 世界光伏的发展状况 1
12 晶体硅太阳电池的理论基础 4
13 研究背景和内容及研究意义14
第二章 激光开孔技术在晶体硅太阳电池的运用 17
21 激光开孔的优缺点及发展趋势17
22 激光开孔的分类及特征19
23 激光开孔参数对开孔效果的影响21
24 小结29
第三章 激光开孔刻槽以及腐蚀工艺的探究 30
31 实验方法30
32 实验结果分析32
33 结论43
34 总结43
第四章 扩散、退火工艺对电池性能的影响 44
41 扩散工艺对电池性能的影响44
42 退火工艺对电池性能的影响50
43 小结53
第五章 总结 54
51 发射极卷包太阳电池几种工艺的实现方法54
52 低成本的发射极卷包太阳电池的设想54
结论 57
参考文献 59
攻读硕士学位期间发表论文和申请专利情况 64
致谢 65