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硕士论文-利用液流悬浮研抛技术加工光学玻璃K9的研究，说明书共84页.
【摘要】 本文主要对液流悬浮研抛加工的理论和实验进行了研究。液流悬浮研抛加工是一种新兴的超光滑表面的加工方法,它适合于光学元件的超精密加工。对液流悬浮研抛加工的理论进行了分析,用弹性流体动力学理论对研抛加工区域进行了流体动压分析。介绍了液流悬浮研抛加工系统。研制了液流悬浮研抛液,该研抛液由纳米颗粒(SiC),基载液、表面活性剂(聚甲基丙烯酸胺PMAA-NH4)三部分组成。采用WYKO 和原子力显微镜两种仪器测量工件的表面粗糙度,分析了两种仪器对测量结果的影响。并且介绍了工件加工后正确的清洗方法。利用所研制的研抛液对光学玻璃K9 进行了大量的试验研究。在单因素试验中,得到了不同的参数对表面粗糙度的影响规律。通过正交试验分析得到了最优的水平组合。结果表明,液流悬浮研抛加工技术是一种新的超精密加工方法,它可使光学材料实现纳米级去除,使表面获得纳米级超光滑水平。 更多还原
【关键词】 超光滑表面； 光学玻璃K9； 液流悬浮研抛； 研抛液；