论文-溅射镀膜技术简谈
- 资源类别：论文
- 资源分类：机械机电
- 适用专业：材料成型新技术
- 适用年级：大学
- 上传用户：饰坠布
- 文件格式：word
- 文件大小：42.60KB
- 上传时间：2014-12-5 2:13:24
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资料简介
材料成型新技术论文-溅射镀膜技术简谈，说明书共9页，5115字。
摘要 溅射镀膜技术已经成为当今世界在材料表面形成沉积耐磨，耐蚀，装饰，光学及其他各种功能薄膜的重要手段，其中以磁控溅射镀膜技术的发展尤为引人注目。本文对溅射镀膜技术的发展历史，功能原理，技术特点，应用范围，发展倾向和瓶颈做了简单的介绍。希望溅射镀膜技术能够得到更多的重视和发展。
关键词 溅射镀膜 磁控溅射镀膜 技术特点 应用范围 发展倾向 技术瓶颈
摘要 溅射镀膜技术已经成为当今世界在材料表面形成沉积耐磨，耐蚀，装饰，光学及其他各种功能薄膜的重要手段，其中以磁控溅射镀膜技术的发展尤为引人注目。本文对溅射镀膜技术的发展历史，功能原理，技术特点，应用范围，发展倾向和瓶颈做了简单的介绍。希望溅射镀膜技术能够得到更多的重视和发展。
关键词 溅射镀膜 磁控溅射镀膜 技术特点 应用范围 发展倾向 技术瓶颈
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