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SiO2与TiO2光学薄膜的制备及其椭偏测量，毕业论文，共60页，19238字，附开题报告、答辩文稿、外文翻译等。
摘 要
随着薄膜技术在信息存储、电子元器件、航天技术以及光学仪器等方面的越来越广泛的应用,薄膜光学参数(折射率n、吸光系数k和薄膜厚度d)的准确测量逐渐成为薄膜研究的重要方向。
在本文中，选择性能比较优异的SiO2、TiO2光学薄膜为研究对象，它们具有非常高的化学稳定性和机械强度性能，通过溶胶-凝胶法，用硅酸乙酯、钛酸丁酯分别配制成SiO2、TiO2薄膜。然后用SC630全自动椭圆偏振光谱仪测量这两种光学薄膜的参数性能。通过分析得出控制测量角度，使得测量所得的薄膜的折射率和吸光系数更加精确；调节提拉速度和溶液的溶度来控制薄膜的厚度。用上述方法制备薄膜，简单容易，所需要的设备少，同时耗资也少。用椭圆偏振法测量薄膜的参数性能，操作简单，快捷方便。
关键词：光学薄膜；薄膜制备；椭圆偏振仪；椭偏测量

目 录
摘 要 I
Abstract II
1 绪 论 1
1.1 光学薄膜的概述 1
1.2 光学薄膜的发展现状 2
1.2.1 光学薄膜在国外的发展现状 2
1.2.2 光学薄膜在国内的发展现状 2
1.3 光学薄膜的特点及性能 2
1.3.1 光学薄膜的特点 2
1.3.2 光学薄膜的性能 2
1.4 光学薄膜的椭偏测量 3
1.4.1 椭圆偏振原理 3
1.4.2 椭圆偏振仪概述 4
1.4.3椭圆偏振仪系统结构及其优点和特点 5
1.4.4 椭圆偏振的发展现状 6
1.4.5 椭圆偏振仪的应用 7
1.5 研究的主要内容 8
2 实验设计 10
2.1 实验药品和仪器 10
2.2 SiO2与TiO2光学薄膜的制备 10
2.2.1 SiO2光学薄膜的制备 10
2.2.1 TiO2光学薄膜的制备 11
2.3 SiO2与TiO2光学薄膜的椭偏测量 12
2.3.1 SC630全自动椭圆偏振光谱仪的操作 12
2.3.2 SiO2与TiO2光学薄膜的参数测量 14
3 结果与讨论 15
3.1 SiO2光学薄膜的测量数据的处理 15
3.1.1 实验数据处理 15
3.1.2 实验数据分析 15
3.2 TiO2光学薄膜的测量数据的处理 21
3.2.1 实验数据处理 21
3.2.2 实验数据分析 21
结 论 29
参考文献 30
致 谢 32
附 录 33