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毕业论文-氨硼烷的热解及氮化硼纳米薄膜在SiO2Si和其他衬底上沉积的研究，共48页，18740字。
摘 要
石墨烯凭借其优异的性能，近年来收到了非常广泛的研究。而作为石墨烯的等电子体，白石墨烯也就是六方氮化硼薄膜也有着很出色的性能。其具有良好的润滑性，电绝缘性，热导性和耐化学腐蚀性，因此其在光电材料，润滑材料，散热材料等具有极佳的应用前景。但是就目前来说运用CVD方法来制备的氮化硼薄膜一般都需要转移，这就在一定程度上降低了薄膜的质量。本文通过普通CVD方法，在SiO2/Si衬底材料上制备氮化硼薄膜，并研究了Al2O3和Cu箔沉积氮化硼薄膜的可行性。在此之前，氨硼烷作为先驱体，我们也对其热解行为进行了研究。我们还利用光学显微镜，扫描电子显微镜，能量散射谱，X射线光电子能谱，拉曼光谱和原子力显微镜，透射电子显微镜等表征手段对所制备的产物进行表征分析。光学显微镜和扫描电子显微镜可以观察产物的表面形貌，能量散射谱和X射线光电子能谱可以用于检测产物的元素组成，Raman和透射电镜可以用来确定产物的成分和结构，原子力显微镜可以用来测试产物的厚度。最后，我们对产物的形成机制也进行了讨论。
关键词：六方氮化硼薄膜，化学气相沉积法，透射电镜，形成机理

目录
摘要 I
Abstract II
目录 III
第一章 绪 论 1
1.1 课题背景及研究的意义 1
1.1.1课题背景 1
1.1.2 研究的意义 4
1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 5
1.2.1国内现状及分析 5
1.2.2 国外现状及分析 6
1.3 研究内容及拟解决的关键问题 7
1.3.1研究内容 7
1.3.2 拟解决的关键问题 8
1.4 预期达到的目标 8
第二章 氮化硼薄膜的制备与研究方法 9
2.1 实验设备和原材料 9
2.1.1 实验原材料 9
2.1.2 实验设备 9
2.2 研究方案 9
2.2.1 设备的检验 9
2.2.2 反应原材料的选择及制备工艺 10
2.2.3 衬底材料的选择 12
2.2.4 衬底材料的预处理 13
2.2.5 样品的制备 13
2.2.6 样品的后续处理 14
2.3 表征方法 15
第三章 氨硼烷的热解行为 16
3.1 引言 16
3.2 氨硼烷的热重曲线 17
3.3 氨硼烷在不同温度下分解后的产物 17
3.3.1 氨硼烷分解产物的宏观图像 17
3.3.2 氨硼烷分解产物的XRD图谱 18
3.3.3 氨硼烷分解产物的拉曼图谱 19
3.4 氨硼烷分解终产物的研究 19
3.5 本章小结 21
第四章 BN薄膜在SiO2/Si及Al2O3和Cu上的沉积 22
4.1 引言 22
4.2 氮化硼薄膜在SiO2/Si基底上的沉积 23
4.2.1 光学显微镜照片 23
4.2.2扫描电镜图片 23
4.2.3 原子力显微镜 24
4.2.4 能量散射谱 25
4.2.5 拉曼光谱 26
4.2.6 X射线光电子能谱 27
4.2.7 透射电子显微镜 28
4.2.8 BN薄膜的形成机理研究 30
4.3 Al2O3片上氮化硼薄膜的沉积 30
4.3.1 透射电镜图谱 30
4.3.2 拉曼光谱 31
4.3.3 扫描电镜图 32
4.4.4 XPS图谱 33
4.4 多晶Cu箔上氮化硼薄膜的沉积 34
4.4.1 扫描电镜图谱 34
4.4.2 拉曼光谱 34
4.3.3 X射线光电子能谱 35
4.4 本章小结 35
结论 37
致谢 38
参考文献 39