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毕业设计 硅微压阻式加速度传感器，共64页，16734字。
目录
第一章 引言 1
第二章 弹性元件的结构设计 3
2.1 概述 3
2.2 压阻式传感器的优缺点和应用 3
2.2.1 压阻式传感器的优点 3
2.2.2 压阻式传感器的缺点 4
2.2.3 压阻式传感器的应用 4
2.3 压阻式硅微型加速度传感器结构形式 5
2.3.1 压阻式硅微型加速度传感器的工作原理 5
2.3.2 压阻式硅微型加速度传感器的结构形式 5
2.4 弹性元件的结构设计 6
2.4.1 压阻式硅微型加速度传感器的设计要求 6
2.4.2 压阻式硅微型加速度传感器的加工材料及其属性 6
2.5 对压阻式硅微加速度传感器的弹性元件进行理论分析 6
2.5.1 对单悬臂梁进行理论分析 6
2.5.2 对双悬臂梁进行理论分析 8
第三章 结构仿真设计 10
3.1 Ansys软件的介绍 10
3.2 对弹性元件的结构尺寸进行仿真分析 10
3.2.1 仿真分析所用到的方法 10
3.2.2 仿真分析的目的 11
3.2.3 如何确定弹性元件的结构尺寸 11
3.2.4 对单悬臂梁的结构尺寸进行仿真分析和优化设计 12
3.2.5 对双悬臂梁的结构尺寸进行仿真分析和优化设计 24
第四章 结构模态分析 44
4.1 进行模态分析的原因 44
4.2 对单悬臂梁的优化尺寸进行模态分析 44
4.3 对双悬臂梁的优化尺寸进行模态分析 46
第五章 结论及思考 47
5.1 对结构梁最终尺寸的性能的总结 47
5.2 由结构梁最终尺寸得出的思考 47
参考文献 49
致 谢 50
附 录 51
程序1：产生图3-1到3-8的过程 51
程序2：产生图3-9到3-15的过程 51
程序3：产生图3-16以及类似图形的过程 52
程序4：产生图3-18以及类似图形的过程 52
外文资料原文 54
翻译文稿 58

摘要
针对高冲击加速度测量，本文采用了带质量块的单悬臂梁和双悬臂梁结作为硅微压阻式加速度传感器的弹性元件结构。利用简化的力学模型对高g值硅微压阻式加速度传感器的结构参数进行理论分析，并利用有限元软件进行仿真，仿真值与matlab计算出来的理论值非常相近。本文不但提供了一种关于硅微压阻式加速度传感器结构设计的可行方法，而且设计出来的单悬臂和双悬臂梁结构具有比较高的灵敏度和冲击承受能力。
关键词：硅微压阻式加速度传感器，有限元法，结构设计，模态分析