毕业设计-如何根据Zernike多项式拟合法对光学平面进行检测
- 资源类别：论文
- 资源分类：基础类-物理
- 适用专业：物理学
- 适用年级：大学
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- 文件格式：word
- 文件大小：327.65KB
- 上传时间：2010-8-17 21:24:40
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资料简介
淮阴师范学院毕业设计 如何根据Zernike多项式拟合法对光学平面进行检测，共23页，6822字。
摘 要：对于光学平面的检测，普遍用的干涉测量法需要一块高精度的参考平面作为标准，其测量精度受到参考平面精度限制。为了获得被测平面的绝对面形分布，同时根据对实际光学平面误差检测结果的分析，本论文提出了如何根据Zernike多项式拟合法对光学平面进行检测。得到了运用Zernike多项式拟合法对光学平面进行绝对检验的理论模型。该方法使得测量整个波面可程序化，便于计算机辅助处理。最后对研究结果进行了数值模拟，进而证明了Zernike多项式拟合法的实用性。
关键词：光学测量，三面互检，Zernike多项式，数值模拟
目录
1 课题研究背景 3
2 三面互检法基本原理 5
3 Zernike多项式拟合法的原理[3] 8
4 理论模拟 14
结束语 19
参考文献 20
致谢 21
附录A Zernike多项式的前36项直角坐标系表达式 22
附录B Zernike多项式的前36项极坐标系表达式 23
摘 要：对于光学平面的检测，普遍用的干涉测量法需要一块高精度的参考平面作为标准，其测量精度受到参考平面精度限制。为了获得被测平面的绝对面形分布，同时根据对实际光学平面误差检测结果的分析，本论文提出了如何根据Zernike多项式拟合法对光学平面进行检测。得到了运用Zernike多项式拟合法对光学平面进行绝对检验的理论模型。该方法使得测量整个波面可程序化，便于计算机辅助处理。最后对研究结果进行了数值模拟，进而证明了Zernike多项式拟合法的实用性。
关键词：光学测量，三面互检，Zernike多项式，数值模拟
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1 课题研究背景 3
2 三面互检法基本原理 5
3 Zernike多项式拟合法的原理[3] 8
4 理论模拟 14
结束语 19
参考文献 20
致谢 21
附录A Zernike多项式的前36项直角坐标系表达式 22
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